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DSP
Chemical 공급장치와 C&C 공정
중앙 공급장치 혹은 개별 wet cleaning 장비에서 각 chemical에 대한 농도를 실시간 monitoring 합니다.
Chemical Concentration Monitor
SemiChem APM Series
샘플 내 H2O2 , H2SO4 , HF ppm 농도 분석 등 최대 4가지 성분을 측정합니다. Titration 방식을 활용하며 뛰어난 정확성과 재현성을 보입니다. Standard monitoring이 가능하며, on/off-line 모든 환경에서 측정 가능합니다.
Nu Series
DHF, DBS chemical 내 H2O2, H2SO4, HF 150/300 ppm 농도를 측정합니다. UV / IR Optical Absorption Spectroscopy 방식을 활용합니다.