1000torr는 0.37mV인지, 10torr는 3.7mV이상인지 확인하세요.Manifold 1000torr용 압력센서 Leak test 방법은 매뉴얼 모드에서 밸브를 열어 놓은 상태로 10분 동안 진공을 제거한 후에 밸브를 닫은 후에 TP12는 ground(항상 적색 탐침봉) 검은색 탐침봉을 TP14에 연결하여 10분에 0.37mV이상 상승하게 되면 leak가 있는 것입니다.
같은 방법으로 10torr 압력센서의 leak test 방법은 테스터기 적색 탐침봉을 TP12에, 검정 탐침봉은 TP7을 연결하여 1분에 3.7mV 이상 DC voltage값이 상승하면 Leak가 있는 것입니다.